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電子工業制備超純水的工藝大致分成以下3種：

　　 1、電子工業超純水設備采用離子交換樹脂制備電子工業超純水的傳統水處理體例，其基本工藝流程為：原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→細密過濾器→中心水箱→陽床→陰床→混床（復床）→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點

　　 2、電子工業超純水設備采用反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合制備電子工業超純水的體例，其基本工藝流程為：原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→細密過濾器→中心水箱→反滲透設備→混床（復床）→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點

　　 3、電子工業超純水設備采用反滲透設備與電去離子（EDI）設備進行搭配制備電子工業超純水的的體例，這是一種制取超純水的最新工藝，也是一種環保，經濟，發展潛力偉大的超純水制備工藝，其基本工藝流程為：原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→細密過濾器→中心水箱→反滲透設備→電去離子（EDI）→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點

    電子工業超純水設備通常由多介質過濾器，活性碳過濾器，鈉離子軟化器、細密過濾器等構成預處理體系、RO反滲透主機體系、離子交換混床（EDI電除鹽體系）體系等構成重要設備體系。原水箱、中心水箱、RO純水水箱、超純水水箱均設有液位控制體系、高低壓水泵均設有高低壓壓力珍愛裝配、在線水質檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器，真正做到了無人值守，同時在工藝選材上采用保舉和客戶要求相同一的方法，使該設備與其它同類產品相比較，具有更高的性價比和設備可靠性。